With sh1
    Set R1 = .Range(.Cells(5, 1), .Cells(5, 1).End(xlDown))
    Set R2 = .Range(.Cells(5, 9), .Cells(5, 9).End(xlDown))
    Set R3 = .Range(.Cells(5, 16), .Cells(5, 16).End(xlDown))
end With

For i = 1 To 3
    x = R & i.Value

この変数 i に代入したいのですが，
コンパイルエラー：
修飾子が不正です。
となります。

どう修正したら良いでしょうか？

よろしくお願いします

＞x = R & i.Value
この意味は？

つまりxに何を格納したいのですか？
それが分からないと回答できません。

すみません
xには，セットしたレンジの値を配列に取り込んでいます。

現在は
x = R1.Value
    For j = 1 To UBound(v)
    On Error Resume Next
    s = v(j, 1)
        If WorksheetFunction.Match(s, R1, 0) = 0 Then
みたいな処理を3回繰り返しています。
x = R2.Value
    For j = 1 To UBound(v)
…

x = R3.Value
    For j = 1 To UBound(v)

xがどこにも使われてないような気がしますが、それはさて置き、

＞With sh1
＞    Set R1 = .Range(.Cells(5, 1), .Cells(5, 1).End(xlDown))
＞    Set R2 = .Range(.Cells(5, 9), .Cells(5, 9).End(xlDown))
＞    Set R3 = .Range(.Cells(5, 16), .Cells(5, 16).End(xlDown))
＞end With
＞
＞For i = 1 To 3
＞    x = R & i.Value
　　↓
  Dim R(1 To 3)
 
  With sh1
      Set R(1) = .Range(.Cells(5, 1), .Cells(5, 1).End(xlDown))
      Set R(2) = .Range(.Cells(5, 9), .Cells(5, 9).End(xlDown))
      Set R(3) = .Range(.Cells(5, 16), .Cells(5, 16).End(xlDown))
  End With
 
  For i = 1 To 3
      x = R(i).Value


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緑の太文字→注釈
茶色の太文字→条件分岐
赤の太文字→ループ
青の太文字→その他